الاقنعة الضوئية photo-mask

يلزمنا - قبل البدء بتوليد مكونات الدائرة المتكاملة عن طريق عملية الانتشار بعض التحضيرات الضرورية الخاصة بتصنيع هده الدوائر. وعلى سبيل المثال نحتاج اولا الى التصاميم الهندسية الخاصة بمكونات هذه الدوائر المتكاملة اللازمة لكل خطوة في عملية التصنيع.

يتم في البداية رسم التصميم الهندسي على ورقة بطول 30 انج وعرض 30 انج وذلك للحصول على اعلى درجة من الدقة في الرسم لتلافي حدوث أي خطأ محتمل. ثم يصغر هذا التصميم حوالي (500) مرة بوساطة التصوير الضوئي . بعد ذلك يستخدم لوح من الزجاج. يكون حجمه بقدر حجم الرقاقة. فيطلى بمادة حساسة للضوء photo sensitive ثم يوضع التصميم على اللوح الزجاجي ولعدد من المرات ( من 50 لى 1500 مرة) يتم تعريضها الى الضوء في كل مرة

يعامل اللوح الزجاجي. بعد ذ لك . مع حامض الهيدروفلوريك فتذوب الاجزاء التي تعرضت للضوء دون غيرها ويتولد لدينا مايعرف بالاقنعة الضوئية photo-masks التي تستخدم لنقل الصور المطلوبة الى الشرائح المتعددة في الرقاقة ويوضح الشكل (1) احد هذه الصور.

الشكل (1) الصور المطلوبة على الشريحة

كذلك فان الشكل (2) يعطي فكرة عامة عما اردنا قوله في اعلاه. ففي هذا الشكل تم فصل أحد الشرائح من جاراتها في الرقاقة كما تم فصل ترانزستورمن هذه الشريحة عن باقي مكوناتها. وهكذا يمكنك الوصول الى حقيقة ما يجب أن تكون عليه عمية تصنيع الدوائر المتكاملة من تعقيد علما بأن لكل ترانزستور مجمعاً وقاعدة وباعثاً .

الشكل (2) تقسيم الرقاقة الى شرائح والمكونات التابعة لها.